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日立热场式场发射扫描电镜 SU5000
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日立热场式场发射扫描电镜 SU5000

二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)＊
高灵敏度: 高效PD-BSD, 超强的低加速电压性能，低至100 V成像
大束流(>200 nA): 便于高效微区分析
名称： 场发射扫描电子显微镜
规格： 套
品牌： HITACHI日立
型号： SU5000
特点： 高性能电子光学系统
原边电流：0
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高性能电子光学系统

  • 二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)＊

  • 高灵敏度: 高效PD-BSD, 超强的低加速电压性能，低至100 V成像

  • 大束流(>200 nA): 便于高效微区分析

性能优异

  • 压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 Pa)成像性能，配备高灵敏度低真空探测器(UVD)＊

  • 开仓室快速简单换样(**样品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)

  • 微区分析: EDS, WDS, EBSD等等


项目内容
分辨率1.2 nm @ 30 kV
3.0 nm @ 1 kV
2.0 nm @ 1 kV 减速模式*1
3.0 nm @ 15 kV 低真空模式*2
放大倍率10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素)
30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)
电子光学系统电子枪ZrO /W 肖特基式电子枪
加速电压0.5 - 30 kV (0.1 kV 步进)
着陆电压减速模式: 0.1 - 2.0 kV ＊1
**束流> 200 nA
探测器低位二次电子探测器
低真空模式*2真空范围: 10 - 300 Pa
马达台马达台控制5 - 轴自动 (优中心)
可动范围X：0～100mm
Y：0～50mm
Z：3～65mm
T：-20～90°
R：360°
**样品尺寸**直径: 200 mm
**高度: 80 mm
选配探测器

  • 高分辨率顶位二次电子探测器＊1

  • 高灵敏度低真空探测器 (UVD)

  • 5分割半导体探测器 (PD-BSD)*3

  • 能谱仪 (EDS)

  • 波谱仪 (WDS)

  • 背散射电子衍射探测器 (EBSD)

*1：减速功能（包含高分辨率顶位二次电子探测器）

*2：低真空功能（包含5分割半导体探测器）

*3：空压机(本地采购)
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