全自动型原子力显微镜-AFM5500M

• 高度集成自动化功能追求高效率检测

• 降低检测中的人为操作误差

• 大范围水平扫描
  采用管型扫描器的原子力显微镜，针对扫描器圆弧运动所产生的曲面，通常通过软件校正方式获得平面数据。但是，用软件校正方式不能完全消除扫描器圆弧运动的影响，图片上经常发生扭曲效果。
  AFM5500M搭载了最新研发的水平扫描器，可实现不受圆弧运动影响的准确测试。

通过SEM－AFM的共享坐标样品台，可实现在同一视野快速的观察・分析样品的表面形貌，结构，成分，物理特性等。

上

图是AFM5500M拍摄的形状像（AFM像）和电位像（KFM像）分别和SEM图像叠加的应用数据。

• 通过分析AFM图像可以判断，SEM对比度表征石墨烯层的厚薄。

• 石墨烯层数不同导致表面电位（功函数）的反差。

• SEM图像对比度不同，可以通过SPM的高精度3D形貌测量和物理特性分析找到其原因。

今后计划与其他显微镜以及分析仪器的联用。